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PECVD系統是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子體化學活性很強，很容易發生反應，在基片上沉積出所期望的薄膜。集成型PECVD系統PECVD-12IH-500A、1200℃小型PECVD系統PECVD-12IH-4Z/G

PECVD系統是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子體化學活性很強，很容易發生反應，在基片上沉積出所期望的薄膜。集成型PECVD系統PECVD-12IH-500A、1200℃小型PECVD系統PECVD-12IH-4Z/G

操作便捷性：1、方便的氣路快速連接口，簡化了流量控制系統與其他設備的鏈接。2、配置有三種接口（寶塔式接口、雙卡套式接口、KF接口），方便組合多種連接方式。

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操作便捷性：1、抽氣口及氣路連接口采用KF式快速連接結構。簡化安裝過程，只需用卡箍便可完成連接，方便操作。2、配置兩種電源連接線，即可直接與我公司的產品直接連接組合使用，也可單獨連接都室內電源獨立使用。