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CVD系統/PECVD系統

PECVD系統 CVD系統

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產品詳情

一、操作便捷性：

1、方便的氣路快速連接口，簡化了流量控制系統與其他設備的鏈接。

2、配置有三種接口（寶塔式接口、雙卡套式接口、KF接口），方便組合多種連接方式。

二、控制智能化：

采用數顯流量顯示儀，配合質量流量控制器，采集數據并控制流量。具有控制精度高，重復性好，響應速度快，穩定可靠等特點（氣體質量流量控制器）。

三、使用安全性：

1、采用單向閥技術，使氣體流量在可控壓力范圍內控制，安全。

2、采用混氣灌裝置，使氣體可以在充分混合后導入工作室內，確保不會泄漏。

四、周邊拓展性：

1、該氣體質量控制系統可配我公司生產的真空/氣氛管式電爐及真空/氣氛箱式電爐使用。

2、該氣體流量控制系統可以與我公司生產的真空控制系統組合使用。

3、可為用戶定制多路氣路產品。

規格

產品型號

氣路數量

流量控制方式

連接方式

流量計

流量范圍

精度

響應時間

工作溫度

工作壓力

外形尺寸mm

重量

標準配件

質量流量

ZL-02H

兩路

數顯流量控制儀

雙卡套接頭

質量流量計

0-500sccm(標準毫升/分）氮氣標定

±1%F.S

≤4sec

5-45℃

進氣壓力0.05-0.3Mpa

530x670x710

48kg

PUΦ6管/每路2米Φ4*15mm不銹鋼襯管5個

ZL-03H

三路

ZL-04H

四路

1600℃多溫區梯度管式電爐上一個產品

返回列表

1400℃升降坩堝電爐下一個產品

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